Диффузиялык ширетүүчү машинанын иштөө принциби негизинен төмөнкү негизги кадамдарды жана компоненттерди камтыйт:
Негизги иштөө принциби: Диффузиялык ширетүүчү машина вакуумдук ширетүүчү машинада иштейт, ал материалды катуу абалда . конкреттүү процесске чейин диффузиялык байланыш тутугуна түшүрүү үчүн жогорку температураны жана басым жасайт жана үч этапка бөлүнөт:
Бөлүштүрүлгөн байланыштуу баскычтар: Иштөөчү ширетүүчү басым жана температура боюнча тыгыз байланышта жана микро-томпок бөлүгү
Интерфейс төмөнкү температура: жогорку температура атомдорду интерфейстин арасынан диффейдерден арылууга алып келет . кысымын түзүү интерфейстин тыгыз байланышын түзүп, көңдөйлүктү төмөндөтөт жана .
Көлөмү диффузия жана дан өсүмдүктөрүнүн миграциялык этапта: атомдорду андан ары чачыратып, дан чек аралары менен дирекция, интерфейс акырындык менен жоголуп, бирдиктүү металлургиялык туташуу . пайда болот
Негизги процесс параметрлери:
Температура: . өтө жогору
Басым: Интерфейстин тыгыз байланышын илгерилетүү жана көңдөйлүктү азайтуу {{0 {0 {{50mmpa .
Убакыт: Диффузиялык тереңдикке . өтө узун таасир эффективдүүлүктү төмөндөтүшү мүмкүн . типтүү диапазонунда бир нече саатка чейин .
Вакуум: кычкылданууга жол бербегиле жана беттик адсорбед газын алып салыңыз {{0} вакуумына караганда, 10 секпага караганда же ага барабар
Жабдуулар Курамы жана иштин иш-аракеттери:
Негизги компоненттер: Вакуумдук системасы (молекулалык соргучтун + молекулалык тобу), баскычташтыруу тутуму (реодурациялоо же механикалык же механикалык басымы) жана контролдоо тутуму
Типтүү жумуш: Жумушка даярдануу
Техникалык белгилер:
Артыкчылыктары: Ата-эненин материалдарын эритүүнүн кереги жок, термик жаракаларга, тешикчелерди жана башка соргучтардан алыс болуунун кажети жок {{0. жогорку тактык, жогорку күч муундары
Чектөөлөр: узак мөөнөттүү цикл, массалык өндүрүшкө ылайыктуу эмес; Жогорку баада .
